pawarta

Teknologi pemotongan kawat berlian uga dikenal minangka teknologi pemotongan abrasif konsolidasi. Iki minangka panggunaan metode elektroplating utawa ikatan resin saka abrasif berlian sing dikonsolidasi ing permukaan kawat baja, kawat berlian sing langsung tumindak ing permukaan batang silikon utawa ingot silikon kanggo ngasilake penggilingan, kanggo entuk efek pemotongan. Pemotongan kawat berlian nduweni karakteristik kecepatan pemotongan sing cepet, akurasi pemotongan sing dhuwur, lan kerugian materi sing sithik.

Saiki, pasar kristal tunggal kanggo wafer silikon pemotong kawat berlian wis ditampa kanthi lengkap, nanging uga ditemoni ing proses promosi, ing antarane putih beludru minangka masalah sing paling umum. Amarga iki, makalah iki fokus babagan carane nyegah masalah putih beludru wafer silikon monokristalin pemotong kawat berlian.

Proses pembersihan wafer silikon monokristalin pemotong kawat berlian yaiku mbusak wafer silikon sing dipotong dening mesin gergaji kawat saka pelat resin, mbusak strip karet, lan ngresiki wafer silikon. Peralatan pembersih utamane yaiku mesin pra-pembersihan (mesin degumming) lan mesin pembersih. Proses pembersihan utama mesin pra-pembersihan yaiku: feeding-spray-spray-resik ultrasonik-degumming-mbilas banyu resik-kurang feeding. Proses pembersihan utama mesin pembersih yaiku: feeding-drilling banyu murni-mbilas banyu murni-cuci alkali-cuci alkali-mbilas banyu murni-mbilas banyu murni-pra-dehidrasi (pengangkatan alon) -ngeringake-ngumbah.

Prinsip nggawe beludru kristal tunggal

Wafer silikon monokristalin minangka ciri korosi anisotropik wafer silikon monokristalin. Prinsip reaksi kasebut yaiku persamaan reaksi kimia ing ngisor iki:

Si + 2NaOH + H2O = Na2SiO3 + 2H2↑

Intine, proses pembentukan suede yaiku: larutan NaOH kanggo tingkat korosi sing beda ing permukaan kristal sing beda, (100) kecepatan korosi permukaan tinimbang (111), dadi (100) menyang wafer silikon monokristalin sawise korosi anisotropik, pungkasane dibentuk ing permukaan kanggo (111) kerucut papat sisi, yaiku struktur "piramida" (kaya sing dituduhake ing gambar 1). Sawise struktur dibentuk, nalika cahya mlebu ing lereng piramida ing sudut tartamtu, cahya bakal dipantulake menyang lereng ing sudut liyane, mbentuk penyerapan sekunder utawa luwih akeh, saengga nyuda reflektivitas ing permukaan wafer silikon, yaiku, efek jebakan cahya (waca Gambar 2). Ukuran lan keseragaman struktur "piramida" sing luwih apik, efek jebakan sing luwih jelas, lan emitrasi permukaan wafer silikon sing luwih murah.

h1

Gambar 1: Mikromorfologi wafer silikon monokristalin sawise produksi alkali

h2

Gambar 2: Prinsip jebakan cahya saka struktur "piramida"

Analisis pemutihan kristal tunggal

Kanthi mikroskop elektron pindai ing wafer silikon putih, ditemokake yen mikrostruktur piramida wafer putih ing area kasebut pancen ora kawangun, lan permukaane katon duwe lapisan residu "lilin", dene struktur piramida suede ing area putih wafer silikon sing padha kawangun luwih apik (deleng Gambar 3). Yen ana residu ing permukaan wafer silikon monokristalin, permukaan kasebut bakal duwe ukuran struktur "piramida" area residu lan generasi keseragaman lan efek area normal ora cukup, sing nyebabake reflektivitas permukaan beludru residu luwih dhuwur tinimbang area normal, area kanthi reflektivitas dhuwur dibandhingake karo area normal ing visual dipantulake minangka putih. Kaya sing bisa dideleng saka bentuk distribusi area putih, ora bentuk teratur utawa teratur ing area sing amba, nanging mung ing area lokal. Kudune polutan lokal ing permukaan wafer silikon durung diresiki, utawa kahanan permukaan wafer silikon disebabake dening polusi sekunder.

h3
Gambar 3: Perbandingan beda mikrostruktur regional ing wafer silikon putih beludru

Permukaan wafer silikon pemotong kawat berlian luwih alus lan kerusakan luwih cilik (kaya sing dituduhake ing Gambar 4). Dibandhingake karo wafer silikon mortir, kecepatan reaksi permukaan wafer silikon pemotong kawat berlian alkali lan berlian luwih alon tinimbang wafer silikon monokristalin pemotong mortir, mula pengaruh residu permukaan marang efek beludru luwih jelas.

h4

Gambar 4: (A) Mikrograf permukaan wafer silikon potongan mortir (B) mikrograf permukaan wafer silikon potongan kawat berlian

Sumber residu utama saka permukaan wafer silikon sing dipotong kawat berlian

(1) Pendingin: komponen utama pendingin pemotong kawat berlian yaiku surfaktan, dispersan, defamagen lan banyu lan komponen liyane. Cairan pemotong kanthi kinerja sing apik nduweni suspensi, dispersi lan kemampuan pembersihan sing apik. Surfaktan biasane duwe sifat hidrofilik sing luwih apik, sing gampang diresiki ing proses pembersihan wafer silikon. Pengadukan lan sirkulasi aditif kasebut terus-terusan ing banyu bakal ngasilake akeh busa, sing nyebabake penurunan aliran pendingin, mengaruhi kinerja pendinginan, lan masalah busa sing serius lan malah busa sing meluap, sing bakal mengaruhi panggunaan kanthi serius. Mulane, pendingin biasane digunakake karo agen defoaming. Kanggo njamin kinerja defoaming, silikon lan polieter tradisional biasane hidrofilik sing kurang. Pelarut ing banyu gampang banget diserap lan tetep ana ing permukaan wafer silikon ing pembersihan sabanjure, sing nyebabake masalah bintik putih. Lan ora kompatibel karo komponen utama cairan pendingin, mula, kudu digawe dadi rong komponen, Komponen utama lan agen penghilang busa ditambahake ing banyu, Sajrone proses panggunaan, miturut kahanan busa, Ora bisa ngontrol panggunaan lan dosis agen antifoam kanthi kuantitatif, Bisa kanthi gampang nyebabake overdosis agen anoaming, Nyebabake tambah akeh residu permukaan wafer silikon, Uga luwih ora trep kanggo dioperasikake, Nanging, amarga rega bahan mentah lan bahan baku agen penghilang busa sing murah, Mula, umume cairan pendingin domestik kabeh nggunakake sistem formula iki; Cairan pendingin liyane nggunakake agen penghilang busa anyar, Bisa kompatibel karo komponen utama, Ora ana tambahan, Bisa ngontrol jumlah kanthi efektif lan kuantitatif, Bisa nyegah panggunaan sing berlebihan kanthi efektif, Latihan iki uga trep banget kanggo ditindakake, Kanthi proses pembersihan sing tepat, Residu bisa dikontrol nganti tingkat sing sithik banget, Ing Jepang lan sawetara produsen domestik nggunakake sistem formula iki, Nanging, amarga biaya bahan mentah sing dhuwur, Kauntungan rega ora jelas.

(2) Versi lem lan resin: ing tahap pungkasan proses pemotongan kawat berlian, wafer silikon cedhak ujung sing mlebu wis dipotong luwih dhisik, wafer silikon ing ujung outlet durung dipotong, kawat berlian sing dipotong awal wis wiwit dipotong menyang lapisan karet lan pelat resin, amarga lem batang silikon lan papan resin loro-lorone minangka produk resin epoksi, titik pelunakane umume antarane 55 lan 95℃, yen titik pelunakan lapisan karet utawa pelat resin kurang, bisa gampang panas sajrone proses pemotongan lan nyebabake dadi alus lan leleh, nempel ing kawat baja lan permukaan wafer silikon, nyebabake kemampuan pemotongan garis berlian mudhun, utawa wafer silikon ditampa lan diwarnai nganggo resin, sawise dipasang, angel banget dikumbah, kontaminasi kasebut biasane kedadeyan cedhak pinggiran wafer silikon.

(3) bubuk silikon: sajrone proses pemotongan kawat berlian bakal ngasilake akeh bubuk silikon, kanthi pemotongan, kandungan bubuk pendingin mortir bakal saya tambah dhuwur, nalika bubuk cukup gedhe, bakal nempel ing permukaan silikon, lan pemotongan kawat berlian saka ukuran lan ukuran bubuk silikon ndadekake luwih gampang adsorpsi ing permukaan silikon, saengga angel diresiki. Mulane, priksa manawa nganyari lan kualitas pendingin lan nyuda kandungan bubuk ing pendingin.

(4) agen pembersih: panggunaan saiki saka produsen pemotong kawat berlian biasane nggunakake pemotongan mortir ing wektu sing padha, biasane nggunakake pemotongan mortir prewashing, proses pembersihan lan agen pembersih, lan liya-liyane, teknologi pemotongan kawat berlian tunggal saka mekanisme pemotongan, mbentuk set lengkap garis, pendingin lan pemotongan mortir duwe bedane gedhe, mula proses pembersihan sing cocog, dosis agen pembersih, formula, lan liya-liyane kudu kanggo pemotongan kawat berlian nggawe penyesuaian sing cocog. Agen pembersih minangka aspek penting, formula agen pembersih asli surfaktan, alkalinitas ora cocog kanggo ngresiki wafer silikon pemotongan kawat berlian, kudu kanggo permukaan wafer silikon kawat berlian, komposisi lan residu permukaan agen pembersih sing ditargetake, lan njupuk karo proses pembersihan. Kaya sing kasebut ing ndhuwur, komposisi agen penghilang busa ora dibutuhake ing pemotongan mortir.

(5) Banyu: ngethok kawat berlian, ngumbah sadurunge lan ngresiki banyu sing kebanjiran ngandhut rereged, bisa uga nyerep menyang permukaan wafer silikon.

Ngurangi masalah nggawe rambut beludru katon putih

(1) Kanggo nggunakake cairan pendingin kanthi dispersi sing apik, lan cairan pendingin kasebut kudu nggunakake agen penghilang busa residu rendah kanggo nyuda residu komponen cairan pendingin ing permukaan wafer silikon;

(2) Gunakake lem lan piring resin sing cocog kanggo nyuda polusi wafer silikon;

(3) Cairan pendingin diencerake nganggo banyu murni kanggo mesthekake yen ora ana rereged sing gampang ana ing banyu bekas;

(4) Kanggo permukaan wafer silikon sing dipotong kawat berlian, gunakake agen pembersih sing luwih cocog kanggo aktivitas lan efek pembersihan;

(5) Gunakake sistem pemulihan online pendingin garis berlian kanggo ngurangi kandungan bubuk silikon ing proses pemotongan, supaya bisa ngontrol residu bubuk silikon ing permukaan wafer silikon kanthi efektif. Ing wektu sing padha, uga bisa nambah suhu banyu, aliran, lan wektu ing pra-cuci, kanggo mesthekake yen bubuk silikon wis dicuci tepat wektu.

(6) Sawise wafer silikon diselehake ing meja pembersih, kudu langsung diolah, lan njaga wafer silikon tetep teles sajrone proses pembersihan.

(7) Wafer silikon njaga permukaan tetep teles sajrone proses degumming, lan ora bisa garing kanthi alami. (8) Ing proses pembersihan wafer silikon, wektu sing kena udhara bisa dikurangi sabisa-bisane kanggo nyegah produksi kembang ing permukaan wafer silikon.

(9) Staf kebersihan ora kena ndemek langsung permukaan wafer silikon sajrone proses pembersihan, lan kudu nganggo sarung tangan karet, supaya ora ana bekas driji.

(10) Ing referensi [2], ujung baterei nggunakake proses pembersihan hidrogen peroksida H2O2 + alkali NaOH miturut rasio volume 1:26 (larutan NaOH 3%), sing bisa nyuda kedadeyan masalah kasebut kanthi efektif. Prinsip kasebut padha karo larutan pembersih SC1 (umume dikenal minangka cairan 1) saka wafer silikon semikonduktor. Mekanisme utama: film oksidasi ing permukaan wafer silikon dibentuk dening oksidasi H2O2, sing dikorosi dening NaOH, lan oksidasi lan korosi kedadeyan bola-bali. Mulane, partikel sing nempel ing bubuk silikon, resin, logam, lan liya-liyane) uga tiba ing cairan pembersih karo lapisan korosi; amarga oksidasi H2O2, bahan organik ing permukaan wafer diurai dadi CO2, H2O lan dicopot. Proses pembersihan iki wis digunakake dening produsen wafer silikon kanggo ngolah pembersihan wafer silikon monokristalin sing dipotong kawat berlian, wafer silikon ing domestik lan Taiwan lan produsen baterei liyane sing nggunakake keluhan masalah beludru putih kanthi batch. Ana uga produsen baterei sing nggunakake proses pra-pembersihan beludru sing padha, uga kanthi efektif ngontrol tampilan beludru putih. Bisa dideleng manawa proses pembersihan iki ditambahake ing proses pembersihan wafer silikon kanggo mbusak sisa wafer silikon supaya bisa ngatasi masalah rambut putih ing ujung baterei kanthi efektif.

kesimpulan

Saiki, pemotongan kawat berlian wis dadi teknologi pangolahan utama ing babagan pemotongan kristal tunggal, nanging ing proses promosi masalah nggawe beludru putih wis ngganggu produsen wafer silikon lan baterei, sing nyebabake produsen baterei kanggo pemotongan kawat berlian wafer silikon duwe sawetara resistensi. Liwat analisis perbandingan area putih, iki utamane disebabake dening residu ing permukaan wafer silikon. Kanggo nyegah masalah wafer silikon ing sel kanthi luwih apik, makalah iki nganalisa kemungkinan sumber polusi permukaan wafer silikon, uga saran lan langkah-langkah perbaikan ing produksi. Miturut jumlah, wilayah lan bentuk bintik putih, panyebabe bisa dianalisis lan ditingkatake. Disaranake banget nggunakake proses pembersihan hidrogen peroksida + alkali. Pengalaman sing sukses wis mbuktekake manawa bisa kanthi efektif nyegah masalah pemotongan kawat berlian wafer silikon nggawe pemutihan beludru, kanggo referensi saka wong njero industri umum lan produsen.


Wektu kiriman: 30 Mei 2024